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CD6102气体流量纯度分析仪

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半导体封测装备

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  • CD6102气体流量纯度分析仪

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    产品描述
    性能特征
    技术参数

    性能特征

    双参数一体检测,集中上传

    ◎流量、浓度检测一体式结构,可同时检测漏氢浓度和瞬时流量,并显示累计排氧总量;

    ◎浓度、流量、累计总量能同时上传DCS。

    精准测量,长期可靠

    ◎纯度测量范围为(0-20%)H,解决漏氧检测设备在浓度超过4%后无法测量的难题;

    ◎纯度检测单元采用独特的温控设计,确保零点和全量程测值稳定,不受环境温度变化的影响;

    ◎技术先进的抗水微型流量计,压力损失小,量程范围大,可靠性高。

     

    技术参数

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